AD GreenMode - Subfab energy savings solution.

AD GreenMode

Unser System bietet eine risikoarme und zuverlässige Möglichkeit, CO2-Emissionen und Energieverbräuche zu reduzieren.

Die Halbleiterherstellung spielt eine wichtige Rolle beim Erreichen weltweiter Klimaziele. Jedoch werden bei der Produktion dieser enorme Mengen an Energie benötigt. Automatisierung Dresden hat deshalb ein System entwickelt, welches hilft, Energie zu sparen und den CO2-Fußabdruck zu verringern.

Kosten verringern durch geringere Energieverbräuche
Nachhaltigere Produktion mithilfe reduzierter Emissionen
Einsparpotenziale voll ausnutzen
Hauptmerkmale

Die Vorteile unseres Systems:

Herstellerunabhängig

Wir sind ein herstellerunabhängiger Partner für Ihre individuelle GreenMode Lösung.

  • Unabhängigkeit von Geräteherstellern
  • Keine herstellerabhängige Softwarebindung

Open Source

Wir bieten einen Service und kein proprietäres Produkt.

  • Schneller Nutzen
  • Skalierbarkeit und Integration

Retrofit

AD GreenMode wurde mit dem Fokus auf einer Implementation in Bestandsfabriken konzipiert.

Geringes Risiko

Bei der Entwicklung von AD GreenMode wurde darauf geachtet, zusätzliche Risiken für Prozessintegrität und Ertrag zu vermeiden.

Geräteschnittstellen

Unsere umfangreichen Schnittstellenbibliotheken decken die meisten Abatements und Vakuumpumpen ab. Sie basieren auf unserer über 30-jährigen Subfab-Erfahrung.

IT Integration

Das System kann nahtlos in bestehende IT-Infrastrukturen integriert werden und fungiert als Teil einer hochvernetzten Fab.

Voraussetzungen

AD GreenMode wurde mit einem Fokus auf der Implementation in Bestandsfabriken konzipiert.

Unser System lässt sich nahtlos in bereits existierende Fab-Infrastrukturen einfügen. Wir nutzen bestehende Vorrichtungen an Subfab-Geräten, um Energieeinsparungen zu realisieren.

Vakuumpumpen: Nutzung von Vorrichtungen zur Reduktion der Stickstoffsäuberung (N2-Purge) und Pumpengeschwindigkeit
Abatements: Dynamischer Wechsel zwischen verschiedenen Flammenmodi
Funtionsweise

Schöpfen Sie Energiesparpotentiale ihrer Fab voll aus.

In vielen Fabs gab es lange keinen oder nur wenig Informationsaustausch zwischen Tool-Level und Subfab. Dies betrifft sowohl Signale, Schnittstellen als auch andere Arten von Informationen. Mithilfe unseres Systems können Sie derartige Barrieren verringern. AD GreenMode fungiert dabei als Teil einer IT-gestützten Produktion in einer hochvernetzten Fabrik.

Informationen über Tool-Nutzung vom MES via REST API
Echtzeitinformationen über laufende Prozesse in den einzelnen Kammern über Interface A
Überwachung aller Prozessschritte und Initiierung von Energiesparmaßnahmen anhand der Daten
Integration aller existierender Binär- und Interlocksignale sowie zusätzlicher Signale zur Energieeinsparung
Standard-SPS zur Steuerung der Prozesse
Ansible-Server für die Bereitstellung, Konfigurationsmanagement und Applikationseinsatz
Rückführung der Geräte in den Nominalzustand im Fehlerfall
Adaption der Systeme an spezifische Interlocksignale des jeweiligen Tools
Zentrale Administration und Kontrolle